微机电微镜阵列

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高密度微镜阵列芯片可用于 1 轴或 2 轴上的多个或分散光束控制。背面电气连接可以支持高微镜数量的设计。阵列芯片设计针对稳定性和可重复性进行了优化，相邻微镜结构之间的串扰绝对最小。 微镜阵列可作为裸露的未封装芯片提供，也可以根据您的要求进行定制封装。

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服务-img3

线性微镜阵列

极高的填空比例大于 95%
固定或可变微镜间距
镜子长度可达 1 毫米或更长
1 轴或 2 轴倾斜

精密微镜阵列

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服务-img2

矩阵镜阵列

阵列大小不受技术限制
2轴倾斜

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