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平移(平面外移动)MEMS 反射镜芯片专为准静态操作而设计,具有稳定性和可重复性,适用于需要纳米级腔或相移的应用。 通过超低电流模拟电压输入进行控制。

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优点


  • 大镜子尺寸
  • 高切换速度
  • 低功耗
  • 倾斜角度稳定。
  • 镜像芯片可作为未封装裸片提供,也可以根据您的要求进行定制封装。