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MEMS 微镜或镜阵列器件非常适用于需要减少和优化占地面积和功耗的高精度或便携式光学系统应用。

Preciseley 获得专利的静电驱动 MEMS 反射镜具有大倾斜范围和解耦两轴运动的优势，可提供卓越的性能。 准静态倾斜 MEMS 反射镜只需要对光束转向功能进行开环控制，如果提供位置反馈，也可以在谐振模式下工作。

使用准静态 MEMS 反射镜进行扫描的优点是局部缩放能力，这与谐振型 MEMS 反射镜相反，后者扫描区域可以缩小但不会移动位置。 局部变焦使局部扫描成为可能，以减少光学系统的数据响应时间。

Preciseley 的高填充因子 MEMS 反射镜阵列旨在与衍射光栅配合使用，用于高性能固态 LiDAR 系统。 在我们的 MEMS 反射镜阵列中发现的大倾斜范围和高填充因子可以消除对昂贵的线性探测器阵列的需要。

出色的耐用性和微型尺寸使我们的 MEMS 反射镜成为专为汽车和无人机设计的小尺寸、低成本 LiDAR 系统的理想选择。 MEMS 反射镜阵列技术为同时实现大反射镜面积和高反射镜稳定性提供了可能。