MEMS活塞镜
平移(平面外移动)MEMS 反射镜芯片专为准静态操作而设计,具有稳定性和可重复性,适用于需要纳米级腔或相移的应用。 通过超低电流模拟电压输入进行控制。
MEMS活塞镜
平移(平面外移动)MEMS 反射镜芯片专为准静态操作而设计,具有稳定性和可重复性,适用于需要纳米级腔或相移的应用。 通过超低电流模拟电压输入进行控制。