带封装的 MEMS 微镜和微镜阵列芯片
带封装的 MEMS 微镜和微镜阵列芯片
- 单轴和双轴微镜
- 静电驱动
- 镀铝和镀金微镜
- 准静态和谐振模式
- 封装尺寸:Ø8.22×3.98 mm (TO39)
- 可由我们的MEMS 驱动器评估板驱动
光学视野 (FOV)
- PMC-TO39-0.8-1:最多X轴=13和Y轴=10度。 (准静态模式)镜面尺寸为Ø 0.8 mm;
- PMC-TO39-1.0-1:最多 X 轴 = 20 和 Y 轴 = 10 度。 (在准静态模式下)镜面尺寸为 Ø 1.0 mm;
- PMC-TO39-1.2-1:最多 X 轴 = 20 和 Y 轴 = 0 度。 (在准静态模式下)镜面尺寸为 Ø 1.2 mm;
- PMC-TO39-1.5-1:最多 X 轴 = 32 和 Y 轴 = 0 度。 (在准静态模式下)镜面尺寸为 Ø 1.5 mm;